超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀ERUN-SZ系列

多參數水質

產品描述

贏潤集團研發生產的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀參照國際材料試驗協會發布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導體行業超純水標準指南》而設計，電子行業用水水質監測設備能夠連續實時在線監測超純水水質的電阻率和溶解氧含量，半導體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產、注射用水（WFI）和純化水（PW）系統以及鍋爐補給水系統等行業領域。

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ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀產品產品概述

贏潤集團研發生產的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀參照國際材料試驗協會發布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導體行業超純水標準指南》而設計，ERUN-SZ系列電子行業用水水質監測設備能夠連續實時在線監測超純水水質的電阻率和溶解氧含量，ERUN-SZ系列半導體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產、注射用水（WFI）和純化水（PW）系統以及鍋爐補給水系統等行業領域。

根據國際標準 ??《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導體行業超純水標準指南》??，超純水按用途與純度分為7個等級，每個等級對電阻率和溶解氧均有明確規定，例如：

類型	電阻率 (MΩ·cm @25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	未要求
E-3	12	未要求
E-4	0.5	未要求

ERUN-SZ系列電子行業用水水質監測設備產品特點

一、超純水電阻率在線監測分析儀產品特點：
★測量精度高??：采用先進電極技術與信號處理算法，確保電阻率數據準確可靠；
??★實時在線監測??：24小時連續監測水質變化，及時預警潛在問題；
??★數據遠傳??：支持 ??4-20mA模擬信號?? 和 ??RS485 Modbus-RTU協議??，可與PLC、DCS及中央監控系統無縫對接；
??★適應性強??：設備防護等級達 ??IP65??，適用于潔凈室、管道旁路、水箱等復雜安裝環境；
★??低功耗設計??：節能環保，長期運行穩定，降低維護頻次。

二、超純水溶解氧在線監測分析儀產品特點：
★光學傳感技術??：采用先進熒光猝滅原理，實現 ??ppb（μg/L）級別?? 的溶解氧檢測；
★??高穩定性與抗干擾??：不受氣泡、流速及水質波動影響，確保數據準確；
★??實時監測與報警??：支持在線實時數據展示與異常報警，便于工藝人員快速響應；
??★遠程傳輸與智能管理??：同樣支持標準工業通訊協議，便于集成到智慧水系統中；
??★長效耐用??：IP65防護 + 低功耗設計，適合長期連續運行。

ERUN-SZ系列半導體超純水電阻率溶解氧在線分析儀技術參數

一、超純水電阻率在線監測分析儀技術參數：

電阻測量范圍：	0.01 電極 50～20000kΩ·cm 0.1 電極 5～20000kΩ·cm 1.0 電極 0.5～20000kΩ·cm 10.0 電極 0.05～20000kΩ·cm（其他量程定做）
電導測量范圍：	0.01 電極 0～20.00μS·cm 0.1 電極 0～200.0 μS·cm-1 1.0 電極 0～2000 μS·cm-1 10.0 電極 0～20.00 mS·cm-1（其他量程定做）
TDS測量范圍：	0.01 電極 0~10 ppm 0.1 電極 0~100 ppm 1.0 電極 0~1000 ppm 10.0 電極 0-10000ppm （其他量程定做）
分辨率：	0.01kΩ·cm
精度：	±2.0 %(FS）
自動溫度補償：	0~100℃溫補NTC 10K，以25℃為基準,溫補系數可修正

二、超純水溶解氧在線監測分析儀技術參數：

量程	0-20μg/L（ppb）
測量精度	±1％ F.S
重復性	±0.5％ F.S
分辨率	0.01μg/L
穩定性	±0.5％ F.S/24h
工作溫度	0-50℃
溫度精度	±1℃
溫度重復性	±0.5℃
工作大氣壓力	40-115kPa
最大承受壓力	1000kPa
儲存溫度	-20-70℃

以上就是關于ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監測分析儀的相關介紹，在追求極致純凈的半導體與電子制造領域，??超純水的電阻率和溶解氧必須控制在極低范圍內??，選擇高性能電子行業用水水質監測設備，是確保生產工藝穩定與產品品質的核心環節。而贏潤集團研發生產的ERUN-SZ系列半導體超純水電阻率溶解氧在線分析儀??，以高精度、智能化、穩定可靠的特性，成為保障水質安全、提升生產效率與產品良率的核心利器。

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